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TA系列 晶圓機器人

國產(chǎn)替代首選-產(chǎn)品可全面替代日本進口品牌

臂長：200/260/400mm? 負載：6/8/12寸wafer

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TBA系列 晶圓機器人

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臂長：200/260/370/400mm? 負載：6/8/12寸wafer

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JC系列 晶圓校準器

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兼容8/12寸晶圓校準? 圓心校準精度：±0.1mm? 缺口校準精度：±0.1°


SA系列 晶圓機器人

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